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TMC主动隔振系统STACIS® IIIc

    StacisIIIC是TMC的基于标准StacisIII设计研发的主动压电振动消除系统的紧凑小型版本。它在降低高度时具有同样出色的隔振性能。

       在没有或非常低振动的地板面情况下,Stacis III是**的选择,但有时标准Stacis III系统的高度会使电镜设备的总高度过高。

       在由3个隔振器组成的配置中,隔振器高度比标准Stacis III高度低大约60%。在具有多余3个隔振器的系统中,高度将介于60%和70%之间,具体取决于有效负载。详情请参见以下规格。

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模拟VC-C(500uin./s, 12.5 um/s RMS)振动测试,有效负载为4500lb(2045kg)

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1.与标准的Stacis III系统相比,在不降低性能的情况下,隔振器高度降低了42%。

2.对于承载能力,Stacis比空气隔振器高近百倍,并且无需任何气源。与主动空气系统不同,Stacis可以放置在具有内部主动空气隔离系统的工具底部,两个系统都完全兼容。

3.独特的结构设计和ZL性高压压电陶瓷技术。
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