TMC STACIS®III 主动隔振系统

STACIS®III是zuixian极n的主动振动隔离系统。采用先进的惯性振动传感器，复杂的控制算法，和zuixian极n的压电致动器。STACIS通过连续测量地板活动、扩大和收缩压电致动器过滤地板振动来进行实时隔离振动。
zui初被设计用于先进半导体工厂的精密显微光刻、计量和检测设备的隔振，STACIS现在是嘈杂环境中敏感仪器的行业标准解决方案，包括但不局限于半导体晶圆厂、失效分析实验室、纳米技术研究、纳米加工设备和材料研究。
STACIS III包括一个新型改进的数字控制器----DC - 2020。它的前后面板上有新型双核处理器，以太网和USB串口，这个新型先进控制系统为用户提供了一个现代的、易于使用的图形用户界面(GUI)。
拥有在世界各地的数百个成功安装案例，STACIS对于大部分振动敏感仪器来说都是zui理想的振动消除系统。

0森泉光电LaserTable Base主动隔振技术应用案例