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DIENER PLASMA ATTO 等离子清洗机

上海尔迪仪器科技有限公司

企业性质授权代理商

入驻年限第4年

营业执照已审核
同类产品真空等离子清洗机(11件)
DIENER PLASMA ATTO 等离子清洗机 核心参数
自动化: 手动
样品腔尺寸: Dia.211x300mm
样品腔容积: 10.5L
射频功率: 200/300W
频率: 40kHz,13.56MHz

10.5 升的LOW-COST-PLASMA-LABORANLAGE ATTO 为手动型，配有 PC 和 PCCE 控制系统，主要用于以下领域：

  • 小批量生产

  • 分析 (REM, TEM)

  • 医疗技术

  • 灭菌

  • 研究和开发部门

  • 考古

  • 纺织技术

  • 塑料技术

等离子设备 Atto，配有手动控制系统、等离子清洗器、等离子灰化器、等离子蚀刻机、等离子活化系统，用于小批量工艺研发、清洗、活化、蚀刻等离子设备 Atto，配有外部 PC 控制系统、等离子清洗器、等离子灰化器、等离子蚀刻机、等离子活化系统，用于小批量工艺研发、清洗、活化、蚀刻 - 等离子系统等离子设备 Atto，配有内置式 PC 控制系统、等离子清洗器、等离子灰化器、等离子蚀刻机、等离子活化系统，用于小批量工艺研发、清洗、活化、蚀刻 - 等离子系统


系列

Atto 手动控制

Atto 外部PC控制

Atto 集成PC控制

控制系统

手动型、通过模拟计时器测定工艺时间

PC-控制系统 (Microsoft Windows XP)

PC-控制系统 (Microsoft Windows CE)

体积

10.5L

真空腔室

玻璃材质、? 211 mm、长 300 mm

样品支架

1个样品支架

气源

2 个由针型阀控制的气体通道

2 个由 MFCs 控制的气体通道

2 个由 MFCs 控制的气体通道

高频电流发生器

40 kHz/200 W 或者 13.56 MHz/50 W 固定搭配

真空泵

5 m3/h

外尺寸

宽 525 mm、高 275 mm、深 450 mm

电源电压

AC220V