非晶硅 单晶硅 多晶硅 氧化硅 氮化硅 之间区别和联系

特别是后两者和前三者之间是一种什么关系？ 是不是说 硅化物分为 非晶硅 单晶硅 多晶硅三类 而氧化硅氮化硅是硅化物其中的两种？那么这么说的话 氧化硅氮化硅也就属于前三类中的了，属于哪一类？ 请回答的详细通俗点。