求助6寸Thermco炉管LPCVD(NIT)淀积压力不稳

求助6寸Thermco炉管LPCVD(NIT)淀积压力不稳，故障时漏率leakrate正常，3mt/min故障现象：purge压力正常250mt（之前250mt可正常工艺），淀积压力250+-37mt，到淀积步骤淀积压力超过287... 求助6寸Thermco炉管LPCVD(NIT)淀积压力不稳，故障时漏率leak rate正常，3mt/min 故障现象：purge压力正常250mt（之前250mt可正常工艺），淀积压力250+-37mt，到淀积步骤淀积压力超过287mt，工艺中断，报警信息为：mks fail。 所作动作：1.调节蝶阀控制器，lead 2---》0.5， gain 50--》75，还是出现mks fail 2.清理蝶阀，gate vavle，half gate，冷阱，故障再次出现 3.调节mks，本底50mt调到30mt，调气控板，tube zero，本底50mt调到30mt。（以前记录，本底50mt可正常工艺） 4.更换新的mks，本底为0mt，未调气控板，purge 压力为177mt，淀积压力为250mt，可开特气NH3，DCS时，压力波动大，Z高达400mt超出287mt范围，再次中断。 跪求高手指教，不胜感激