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电容式压力变送器和单晶硅变送器有哪些区别.各自有

弘缘居士 2017-08-26
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漠北大野
工作原理已经决定了他们的不一样
单晶硅变送器采用单晶硅片为弹性元件,在单晶硅膜片上利用集成电路的工艺,在单晶硅的特定方向扩散一组等值电阻,并将电阻接成桥路,单晶硅片置于传感器腔内。
电容式变送器被测介质的两种压力通入高、低两个压力室,作用在δ元件(即敏感元件)的两侧隔离膜片上,通过隔离片和元件内的填充液传送到测量膜片两侧。电容式压力变送器是由测量膜片与两侧绝缘片上的电极各组成一个电容器。 当两侧压力不一致时,致使测量膜片产生位移,其位移量和压力差成正比,故两侧电容量就不等,通过振荡和解调环节,转换成与压力成正比的信号。
8 0 2017-08-27 0条评论 回复
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