8英寸晶圆上的40纳米的薄膜，有什么方式测量。不要破坏样品。

用台阶仪就好了，台阶仪在测量方式上可以分为接触式和非接触式测量，接触式就是用探针在薄膜的表面滑动，在薄膜的边缘出现台阶的地方，探针的位置会发生改变，传感器记录这一改变进行相应的运算即可得到台阶高度，薄膜厚度，沟槽深度和表面粗糙度等等信息。非接触式的则是利用光学原理，无论是白光干涉，还是白光色散，再有就是激光共聚焦等等，无非根据光信号传感来判断薄膜厚度。接触式台阶仪分为手动的和自动的。便宜些的你就用手动的，比如Nanomap系列的PS，测个厚度足够了。贵些的用自动的。自动的可以得到三维形貌所以又有人叫三维轮廓仪，三维形貌仪啥的。自动的可以测量表面形貌，表面粗糙度，面粗糙度等等。