半导体设备冷却水里面锈迹怎么去除

半导体设备冷却水需要不断的循环，里面的冷却水会越来越脏，类似橘黄色的颜色，如果特别多，还可能堵塞管路，有没有什么好方法去除呢！... 半导体设备冷却水需要不断的循环，里面的冷却水会越来越脏，类似橘黄色的颜色，如果特别多，还可能堵塞管路，有没有什么好方法去除呢！