请高手指点光学真空镀膜中霍尔离子源的问题

我们使用的霍尔离子源阳极电流不稳定，阳极电流不稳定导致气体通入量也不稳定，正常情况下气体通入是从Z大设定值开始，然后慢慢减小到所需要的数值，但现在是从Z小的数值开始，慢慢增大到所需要的数值，而且有时气体慢慢减小到零，气瓶内的气体压力还很多，... 我们使用的霍尔离子源阳极电流不稳定，阳极电流不稳定导致气体通入量也不稳定，正常情况下气体通入是从Z大设定值开始，然后慢慢减小到所需要的数值，但现在是从Z小的数值开始，慢慢增大到所需要的数值，而且有时气体慢慢减小到零，气瓶内的气体压力还很多，查了很多地方，还是没有解决，请高手帮忙指点一下。谢谢！