真空镀膜机怎么会喷油

通常对镀膜机，叫返油，你说的喷油，从什么地方喷?而返油是因为扩散泵水温过高，造成返油，还要检查初真空转高真空的闭路阀门是否损坏封圈漏气串通一气，也会造成返油.