真空镀膜机粗抽很慢的原因

请详细说明，什么设备 什么泵 泵油颜色 原来多长时间 现在多长时间 多长时间开门 一次 开门多久 大气相对湿度等
1、精抽 速度慢不慢？如果不慢 证明精抽部分和真空室不漏气
2、粗抽泵油颜色 是否乳化
3、粗抽管道是否漏气，可采用盲板加规管堵在真空泵的抽气口段 判断2 、3 问题
4、如果2、3没有问题，请考虑真空室内脏污问题 清理干净先