真空钎焊炉真空度跳动

我有一台真空钎焊炉，是三台ZX-70A机械泵+2台ZJ-600A罗茨泵+2台 k-800A扩散泵组成，在抽真空的时候，在1.0x10-2次方到5.5x10-3次方的时候，真空度跳动比较厉害，Z大能从5.5跳动6.5左右，我扩散泵刚发回厂家维修过，炉子不管加热，还是不加热。真空度在那个区... 我有一台真空钎焊炉，是三台ZX-70A机械泵+2台ZJ-600A罗茨泵+2台 k-800A扩散泵组成，在抽真空的时候，在1.0x10-2次方到5.5x10-3次方的时候，真空度跳动比较厉害，Z大能从5.5跳动6.5左右，我扩散泵刚发回厂家维修过，炉子不管加热，还是不加热。真空度在那个区间波动就比较大，其他区间也有变化，但是比较小。请专家人帮我判断判断！！！谢谢