低温真空镀膜扩散泵

扩散泵不是需要预热、而是需要加热，这是扩散泵的工作原理，跟处于什么工艺下进行没有关系。 扩散泵属于增压泵，单独是不可以使用的，必须串联机械泵，如旋片泵、滑阀泵等。 扩散泵的工作条件是全压强小于10pa才可以开启加热炉。 扩散泵没有电机。