真空镀膜机试车主要精度指的什么

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有几个指标是要Z终测试的：
1. 抽速测试，测试泵系统的性能
2. 极限真空测试和漏率测试，测试真空系统是否有漏气
3. 加热系统，多长时间加热到多少度等等。
4. 真空检测系统测试
5. 手动操作，和自动操作。
包括安全系统等等。

9 0 2012-03-18 0条评论回复

真空度

20 0 2012-03-10 0条评论回复

极限真空，抽速，温度控制，膜厚控制精度，工转精度，..................

3 0 2012-03-12 0条评论回复

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