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真空镀膜时机械泵、罗茨泵、分子泵各在什么时候启动?

小糖粒儿1 2012-02-28

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机械泵常压启动，过几分钟后可启动罗茨泵，Z后启动分子泵；一般程序上有启动和自动关闭的上下限

11 0 2012-02-29 0条评论回复

机械泵抽机体的时候就开先开机械泵 V1阀一般5分钟左右开罗茨泵 3.0*10零次方时开分子泵

12 0 2012-03-02 0条评论回复

你好，我做了真空镀膜3年了，我了解一点，抽气前，应用机械泵，抽到100pa时，罗茨泵启动，Z后分子泵即真空阀！我因为刚辞职了，就能帮你这么多了，不好意思！

1 0 2012-03-03 0条评论回复

机械泵随时都可以启动，罗茨泵根据你的要求来，Z好是一千帕到五百帕启动，也可以到一万帕，分子泵要晚点，四五帕的时候

12 0 2012-02-29 0条评论回复

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