真空镀膜机使用过程中需要使用水吗？会产生什么废气

真空镀膜机腔体里面是不允许有水的，否则就抽不了真空，不过镀膜机是需要有冷却水循环冷却，
至于废气我不知道你说的是哪方面，是抽真空镀膜腔体内的空气呢，还是指抽高真空后真空腔体内溢出的水蒸气和油气分子
希望能帮你解决部分疑问

真空镀膜有N多种，磁控溅射、多弧、PECVD。不同的镀膜有不同的原理和真空度要求，而有些需要冷却有些不需要。请问你的是什么真空镀？

真空镀膜机内如果受潮，是会影响设备运转的，但是水是必须到，是冷却用，从原理上讲，这个是物理变化，基本不会产生新的气体。

需要水，主要是冷却水，如果是1300mm的机器，流量大约Z高75L/Min，会产生一定废弃，主要是机械泵及扩散泵里面的油气，很少，但是需要排气系统把这些气排出去。否则室内忍受不了。