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真空镀膜机由几个泵组成

s66sdf66 2014-09-08
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yujia882
根据机器不同各不相同,但一般的镀膜机是有三个泵的:机械泵(一般是油旋转泵),罗茨泵,高真空泵(扩散泵或者分子泵)
14 0 2014-09-09 0条评论 回复
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