真空镀膜机前置阀有什么用

主要是保证扩散泵加热的。
扩散泵泵油在工作之前需要加热，加热过程中，如果之前的环境有大量的空气分子，那么扩散泵泵油会被污染，抽真空就不利。而且在换工件的时候，只要关上前置阀就可，不必全部重启整个系统。所以在扩散泵前面加一个阀门，不让扩散泵和真空室直接连通。