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真空镀膜机有四个泵，他们是怎样工作的

小邱382 2015-08-20

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维持泵，机械泵，卢氏泵，扩散泵分别作用是：待机，粗抽（低真空），中抽（中真空），精抽（高真空）

9 0 2015-08-21 0条评论回复

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