真空镀膜机增压泵跑油，增压泵油经罗茨泵再跑到机械泵的原因及处理方法

镀膜机上室真空系统配置为：1台莱宝630旋片泵串联1台上海阳光ZJY-2500A罗茨泵（变频驱动），后级为2台南光600的增压泵。 现象：630机械泵油越用越多，大概每月会多出7-8升，都是增压泵油与机械泵（GS77）混合油，增压泵油量也相应减少，这样对机械泵的损害... 镀膜机上室真空系统配置为：1台莱宝630旋片泵串联1台上海阳光ZJY-2500A罗茨泵（变频驱动），后级为2台南光600的增压泵。 现象：630机械泵油越用越多，大概每月会多出7-8升，都是增压泵油与机械泵（GS77）混合油，增压泵油量也相应减少，这样对机械泵的损害较大，抽气速度也慢。（该机从3年前新机到现在一直这样) 工作条件：增压泵回水水温约33-36℃，加热设定温度220℃，10Pa开下阀，6Pa开上阀。 请问：哪位大侠遇到并解决过这样的问题，该如何处理，或者从哪个方面着手？如增压泵温度、罗茨泵转速、冷却水温、阀门打开时间等。