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扩散泵运行的Z小压强是多少？（型号为TK-300油扩散泵）

fhfhgc655 2013-07-08

我先用机械泵抽真空，但只抽到36帕，在这种条件下，能不能运行扩散泵啊，原因？

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应该可以使用，南光的TK系列Z高排气压力是40pa。

7 0 2013-07-09 0条评论回复

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