高温退火后金属薄膜电阻率为什么上升

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电导率（导电率）指在介质中该量与电场强度之积等于传导电流密度。
金属退火处理中金属的结晶结构会重新排列，除了杂质影响外一般会形成规范的金属晶体，自由电子会增加，电阻值会降低。

高温有氧化。氧化的金属电租率上升。