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镀膜时样品中间会不均匀什么原因
ykpjjd
2017-09-11
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英雄豪迈
途中主要表述是溅射过程中,物质的动向图。并没有磁控条件限制。
顶部是靶材/阴极;中间为辉光区域;底部是溅射基体。
靶材和辉光之间为电压降区域,给正离子提供足够能量的电场,正离子加速轰击到靶材上,使靶材的物质溅射出来,沉积到基体上(两侧的长线);负离子、电子保持在辉光区,轰击气体原子。
辉光区放射出电子、离子、中性原子、光子等,这些组成等离子体(宇宙99%以上的组成物质为等离子体)
辉光和基体之间电压降很小。
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2017-09-12
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