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平面靶材在真空镀膜中怎么冷却

囧了个囧的囧 2016-07-20

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用铝做个带水冷却的装置，再把平面靶固定在上面起到冷却作用

15 0 2016-07-22 0条评论回复

间接式水冷

14 0 2016-07-21 0条评论回复

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