真空镀膜机的靶材有多少种？

高真空镀膜机，镀膜机是目前制作真空条件应用Z为广泛的设备.其相关组成及各部件：机械泵、增压泵、油扩散泵、冷凝泵、真空测量系统.
下面本人详细介绍各部分的组成及工作原理.
一、真空主体——真空腔
根据加工产品要求的各异，真空腔的大小也不一样，目前应用Z多的有直径1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等，腔体由不锈钢材料制作，要求不生锈、坚实等，真空腔各部分有连接阀，用来连接各抽气泵浦.