台阶仪

台阶仪属于接触式表面形貌测量仪器。根据使用传感器的不同，接触式台阶测量可以分为电感式、压电式和光电式。台阶仪测量原理是：当触针沿被测表面轻轻滑过时，触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。经放大与相敏整流后，可将位移信号从调幅信号中解调出来，得到放大了的与触针位移成正比的缓慢变化信号。台阶仪测量精度较高、量程大、测量结果稳定可靠、重复性好。