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KOSAKA接触式台阶仪ET150

上海昭沅仪器设备有限公司

企业性质

入驻年限第9年

营业执照
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KOSAKA LAB ET 150台阶仪


设备特点:
KOSAKA ET150基于Windows XP操作系统为多种不同表面提供全面的形貌分析,包括半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等。使用金刚石(钻石)接触测量的方式来实现高精度表面形貌分析应用。ET150能精确可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。
ET 150配备了各种型号,提供了通过程序控制接触力和垂直范围的探头,彩色CCD原位采集设计,可直接观察到工作时的状态,更方便准确的定位测试区域。

规格
一、定工件:
1. 最大工件尺寸:φ160mm
2. 最大工件厚:50mm
3. 最大工件重量:2kg

二、出器(pick up):
1. Z方向定:Max. 600μm
2. Z方向分解能:0.1nm
3. 定:min.1mgf,max.50mg
4. 半:2 μm
5. 方式:直式
6. 再性:1σ= 1nm

三、X (基):
1. 移动量(最大):100mm
2. 移的真直:0.2μm/100mm
3. 移,定速:0.02 ~ 10mm/s
4. 性尺(linar scale):分解能 0.1μm

四、Z:
1. 移动量:50mm
2. 移速度:max.2mm/S
3. 出器自停止能
4. 位置定分解能:0.2μm

五、工件台:
1. 工件台尺寸:160mm
2. 械手倾斜: 1mm/150mm

六、工件察:max.110 倍(可其它高倍CCD)

七、床台:材花岩石

八、防振台():地型或桌上型

九、源:AC100V±10%, 50/60HZ, 300VA

十、本外尺寸及重量: W494mm;D458mm;H610mm, 120kg (含防震台)