KOSAKA接触式台阶仪ET150

KOSAKA LAB ET 150台阶仪

设备特点：
KOSAKA ET150基于Windows XP操作系统为多种不同表面提供全面的形貌分析，包括半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层以及平板显示等。使用金刚石（钻石）接触测量的方式来实现高精度表面形貌分析应用。ET150能精确可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。
ET 150配备了各种型号，提供了通过程序控制接触力和垂直范围的探头，彩色CCD原位采集设计，可直接观察到工作时的状态，更方便准确的定位测试区域。

规格
一、定工件：
1. 最大工件尺寸：φ160mm
2. 最大工件厚：50mm
3. 最大工件重量：2kg

二、出器（pick up）：
1. Z方向定：Max. 600μm
2. Z方向分解能：0.1nm
3. 定：min.1mgf,max.50mg
4. 半：2 μm
5. 方式：直式
6. 再性：1σ= 1nm

三、X (基)：
1. 移动量(最大)：100mm
2. 移的真直：0.2μm/100mm
3. 移,定速：0.02 ~ 10mm/s
4. 性尺(linar scale)：分解能 0.1μm

四、Z：
1. 移动量：50mm
2. 移速度：max.2mm/S
3. 出器自停止能
4. 位置定分解能：0.2μm

五、工件台：
1. 工件台尺寸：160mm
2. 械手倾斜： 1mm/150mm

六、工件察：max.110 倍(可其它高倍CCD)

七、床台：材花岩石

八、防振台()：地型或桌上型

九、源：AC100V±10%, 50/60HZ, 300VA

十、本外尺寸及重量： W494mm;D458mm;H610mm, 120kg (含防震台)