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小型离子溅射仪

北京和同创业科技有限责任公司

企业性质

入驻年限第10年

营业执照
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仪器简介:

本仪器主要适用于扫描电子显微镜样品镀膜导电膜(金膜),仪器操作简单方便,
是配合中小型扫描电子显微镜制样必备的仪器。



技术参数:

1.靶(上部电极):材料:金,直径:50mm,厚度:0.1mm 纯度:99.999%

2、真空室:直径:160mm,高:110mm

3.样品台(下部电极):溅射面积:直径:50mm

4.工作真空: 2×10-110-1 mbar

5.离子电流表:最大电流:50mA

6.计时器:根据溅射习惯设定单次溅射时间。

7.最高电压:-1600DVC

8.机械泵:2升/每秒

9.工作室工作媒介气体:空气或氩气,

10.真空气阀: 配有氩气专用进气口和微量充气调节,可连接φ4*2.5mm软管。


主要特点:

轻便、溅射面积大
靶材可按用户要求加工制作