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日立Hitachi 离子溅射仪 MC1000

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

企业性质生产商

入驻年限第6年

营业执照已审核
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日立Hitachi 离子溅射仪 MC1000

 

特点:

。采用LCD触摸屏,可以更加简便地设定加工条件
。可处理较厚或较大的样品(选配件)
。记忆功能可存储常用加工条件

 

规格:

项目说明
放电:类型:磁控二极管放电型(电场垂直于磁场)
电极组成:反向平行盘(嵌入磁铁)
电压:最大 0.4 kV DC(直流可变)
电流:最大 40 mA DC
喷镀速率 *1(最大):
[条件]:
压力:7 Pa
放电电流:40 mA
标靶与样品表面之间的距离:20 mm
Pt 靶(选配件):15 nm/min
Pt-Pd 靶(选配件):20 nm/min
Au 靶(选配件):35 nm/min
Au-Pd 靶(选配件):25 nm/min
样品尺寸:最大直径:φ60 mm
最大高度:20 mm
机械泵:135/162 l/min (50/60Hz)
靶材*2:Pt , Pt-Pd (8:2) , Au , Au-Pd (6:4)
电源要求:单相, 100 V AC (±10%) 15 A (50/60 Hz), 3-针插头线缆(3 m)
尺寸:宽度:450 mm
长度:391 mm
高度:390 mm
重量:主机:约 25 kg
机械泵:约 28 kg

 

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