等离子体表面处理仪

等离子体表面处理仪是通过利用对气体施加足够的能量使之离化成为等离子状态，利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等的目的。等离子体表面处理仪的用途：1、医用材料研究，主要为研究和开发企业或研究所；2、电子领域，应用较为广泛，如电路板等；3、生物芯片领域；4、高端和精密研究的清洗、除污；5、电化学单位，进行表面处理的单位。