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EMS1050 低温灰化仪
应用领域：
l 生物芯片领域
l 医用材料、光学材料研究
l 电子半导体领域
l 高分子材料研究
l 电化学、高端零部件处理
l 有机材料的灰化、刻蚀
仪器性能：
l 自动调频高频发生器
l 内置旋转真空泵
l 此系统通常使用氧及氩的混合气体，氧去除有机物质（碳氢化合物），氩对样品表面进行刻蚀
l 低温等离子灰化、刻蚀、清洗 (0-150 watts RF)
l 真空监测.
l 双重气流针阀控制
l 精确时间定时
l 微处理器程序设置
l LCD状态数字显示
l 腔室为圆柱形，样品装载为抽屉式抽拉系统，样本操作方便
l 聚碳酸脂安全防护
技术参数：
电镜有机样本的刻蚀尺寸 | 450mm(W)x350mm(D)x300mm(H) |
工作腔室 | 派热克斯玻璃 150mm(L)x100mm(Dia.) (硼硅酸盐玻璃为标准配置) |
重量 | 25Kg |
等离子体输出 | 最大150w，13.56 MHz 。 |
等离子体输出 | 最大150w，13.56 MHz 。 |
真空度 | >ATM to 1 x 10-5mbar；通常 0.5 mbar to 1.0 mbar. |
时间控制 | 最长可设置99小时59分钟 |
双重气流控制 | 双重针阀气流控制，可选1种或2种气体（校准 5-100cm3/min air at A.T.P) |
电源 | 230 V， 50Hz (3 amp Max) |
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