二次离子质谱仪

二次离子质谱仪是用来检测材料的一种仪器，即是利用离子束把待分析的材料从表面溅射出来，然后再检测出离子组分并进行质量分析，二次离子质谱仪是对微粒进行同位素分析的有力工具，是利用质谱法分析初级离子入射靶面后，溅射产生的二次离子而获取材料表面信息的一种方法。