光学NanoGauge C10323-02

企业性质生产商

入驻年限第9年

营业执照已审核

详细介绍

详细参数

型号	C10323-02
可测膜厚范围（玻璃）	20 nm to 50 μm①
测量可重复性（玻璃）	0.02 nm②
测量准确性（玻璃）	±0.4 %③
光源	Halogen light source
光斑尺寸	φ8 μm to φ80 μm④
工作距离	Refer to objective lens list
可测层数	Max. 10 layers
分析	FFT analysis, Fitting analysis, Optical constant analysis
外部控制功能	RS-232C, PIPE, Ethernet
电源	AC100 V to AC120 V , 50 Hz/60 Hz
功耗	Approx. 250 VA
测量波长范围	400 nm to 1100 nm
接口	USB 2.0

*1：转换时玻璃的折射率是1.5

*2：测量400 nm玻璃薄膜厚度时为标准偏差（公差）

*3：取决于光学系统或物镜放大倍数

*4：测量保证范围同VLSI标准测量保证文件一致

产品特性

● 可在微观层面进行测量

● 高速、高准确度

● 分析光学常量(n, k)

● 可外部控制

外形尺寸（单位：mm）