NXQ4006光刻机在操作中应该要注意以下几点： 1、进入机仓检查或维修必须切断电源，挂上警示牌并与中控联系。 2、检修或检查时必须使用36V以下照明。 3、必须经常监视机器运转情况，如听任何不正常声音，应立即停机检查，查明原因并处理完故障后，方可重新起动。 4、正常运转中，应特别注意电机和转子的温度变化，保证充足的油润滑、水冷却，超过规定值立即停机检查。 5、运行时，不准打开观察孔，以防物料飞出伤人。 6、每周应检查一次转子卡箍螺栓的松紧情况。 7、每天开机前应检查衬板螺丝是否松动并紧固。
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2004-08-29
