扫描电子显微镜，英文名称为SEM，是scanningelectronmicroscope的简写。扫描电子显微镜主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态，即用极狭窄的电子束去扫描样品，通过电子束与样品的相互作用产生各种效应，其中主要是样品的二次电子发射。
随着电子技术和计算机技术的发展，不仅实现了数字化图像，而且电镜所有的功能都已经实现了数字化控制。现代扫描电镜电器控制系统高度集成化，扫描电镜结构越来越紧凑，自动化功能越来越高，极大改善了人机操作环境。
扫描电子显微镜的工作原理：
扫描电镜主要是利用二次电子成像，它工作原理是这样的：从电子枪灯丝发出的直径约20～35μm的电子束，受到阳极1～40kV高压的加速射向镜筒，并受到diyi、二聚光镜和物镜的汇聚作用，缩小成直径约几十埃的狭窄电子束射到样品上。与此同时，偏转线圈使电子束在样品上作光栅状的扫描。电子束与样品相互作用将产生多种信号，其中Z重要的是二次电子。由于控制镜筒入射电子束的扫描线圈的电路同时也控制显像管的电子束在屏上的扫描。用这种方法就如电视机屏上的像一样，一点一点，一线一线地组成了像。图像为立体形象，反映了标本的表面结构。为了使标本表面发射出次级电子，标本在固定、脱水后，要喷涂上一层重金属微粒，重金属在电子束的轰击下发出次级电子信号。
扫描电子显微镜广泛应用于生物、医学、动物、材料、化学等领域。
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2004-07-28
