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扫描电子显微镜的设计思想和工作原理，早在1935年便已被提出来了。1942年，英国首先制成一台实验室用的扫描电镜，但由于成像的分辨率很差，照相时间太长，所以实用价值不大。经过各国科学工作者的努力，尤其是随着电子工业技术水平的不断发展，到1956年开始生产商品扫描电镜。近数十年来，扫描电子显微镜已广泛地应用在生物学、医学、冶金学等学科的领域中，促进了各有关学科的发展。
一．扫描电子显微镜的特点
和光学显微镜及透射电镜相比，扫描电子显微镜具有以下特点：
(一)扫描电子显微镜能够直接观察样品表面的结构，样品的尺寸可大至120mm×80mm×50mm。
(二)样品制备过程简单，不用切成薄片。
(三)样品可以在样品室中作三度空间的平移和旋转，因此，可以从各种角度对样品进行观察。
(四)扫描电子显微镜景深大，图象富有立体感。扫描电镜的景深较光学显微镜大几百倍，比透射电镜大几十倍。
(五)图象的放大范围广，分辨率也比较高。扫描电子显微镜可放大十几倍到几十万倍，它基本上包括了从放大镜、光学显微镜直到透射电镜的放大范围。扫描电子显微镜分辨率介于光学显微镜与透射电镜之间，可达3nm。
(六)电子束对样品的损伤与污染程度较小。
(七)在观察形貌的同时，扫描电子显微镜还可利用从样品发出的其他信号作微区成分分析。
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