立式气氛管式炉结构上的特点在于一个起双重作用的管架系统,它把集箱、下降管等水循环系统和支撑框架集于一身。
立式管式气氛炉的独特设计能够实现在真空或气氛保护条件下对样品快速升降温,四面加热,温场更均匀,立式结构使得气体排放更加顺畅,炉体垂直安装在可移动支架上有利于炉管取放温度的均匀性,可以预抽真空并能通氢气、氩气、氮气、氧气、一氧化碳、氨分解气等气体,该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点,特别适合薄膜生长、电极测试、氧化物晶体生长、快速退火等实验需要!
1.归纳起来的结构特点有:
(1)锅炉采用自支撑式结构,即锅筒通过位于两端下部的大直径下降管在下部支撑,无单独构架支撑或悬吊,也称为无构架锅炉。
(2)采用膜式水冷壁、炉膛为水冷壁整体焊成的一个箱体,可减少漏风,不用笨重的耐火和保温砖墙。
(3)下降管与下集箱连接的供水管,以及上集箱与锅筒连接的汽水引出管,不采用很大的弯曲半径,而用锻制的小R(半径)弯头与管子焊接而成,使锅炉结构紧凑,外形布置简单,这也可能是“角管式”名词的由来。
(4)尾部受热面多为屏式受热面结构。
2.立式气氛管式炉技术特点:
立式气氛管式炉的四角为大直径厚壁的下降管与汽包、水冷壁、集箱、旗形受热面、加强梁等组成框架式结构。无钢架结构,抗震性好。
立式气氛管式炉的锅筒为外置式纵向布置或横向布置,炉膛出口布置在高位,燃烧空间比较充分,q4损失小。
炉膛及受热面通道四周均采用全封闭式的膜式水冷壁,炉膛横截面积大,容积大,q3、q4损失小。
独特的旗式受热面结构技术。大量对流受热面管子自后烟道中膜式水冷壁管子引出,组成像一面面旗帜的受热面。
燃烧部分完全采用鳞片式炉排技术。立式气氛管式炉的炉排采用鳞片式炉排,它采用大风仓等压结构,炉排面下是一个大的等压风仓。等压风仓和炉排面之间是若干组可调节的小风门,通过调节这些小风门,通过调节这些小风门的开度可以控制煤在炉排上移动时各个燃烧阶段的供风量,配风精确,有利于煤的燃烧和燃烬立式气氛管式炉排的设计倾角为45°炉排结构能大大地减少了漏煤损失,q4损失小。
根据燃料的不同,在炉膛的前壁和炉膛后壁布置二次风。
锅炉尾部布置省煤器或空气预热器。由于烟气从锅炉本体排出时的温度还是比较高,尾部布置省煤器或空气预热器,可以吸收烟气的热量,降低烟气的排烟温度,节省了能源,提高了效率。
适用范围:
主要应用于院校实验室、工矿企业实验室,应用于高、中、低温CVD工艺,如碳纳米管的研制,晶体硅基板镀膜,金属材料扩散焊接以及真空或气氛下的热处理等。
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