电子探针

电子探针是一种利用电子束作用样品后产生的特征X射线进行微区成分分析的仪器,可以用来分析薄片中矿物微区的化学组成。电子探针可以对试样中微小区域（微米级）的化学组成进行定性或定量分析。可以进行点、线扫描（得到层成分分布信息）、面扫描分析（得到成分面分布图像）。还能全自动进行批量定量分析。电子探针技术在冶金、地质、电子材料、生物、医学、考古以及其它领域中得到日益广泛地应用，是矿物测试分析和样品成分分析的重要工具。