动态反应池-ICP-MS分析半导体级盐酸中杂质

本文介绍了ICPMS在分析20%盐酸中ng/l级杂质的应用这篇应用文章证明了通过一次分析，在热等离子体条件下，动态反应池可以轻松地消除各类干扰，从而实现对HCl中的超痕量的杂质分析 PerkinElmer 等离子质谱仪