半导体工艺研究中的SEM应用实例

根据半导体工艺的需要，本文介绍了利用 SEM 分析工艺问题的方法在形成成品之前，特别是工艺设计及加工制造阶段的失效分析及可靠性研究，能够在隐患转变为大面积工艺问题及后期性能参数问题之前，就能够提早定位并彻底解决，更为今后产品大规模量产及产品升级换代提供客观准确的科学依据SEM 是其中的重要技术手段，尤其在线检测分析更是物尽其用 蔡司SIGMA 500高分辨率场发射扫描电镜 蔡司SIGMA 300场发射扫描电镜 钨灯丝系列扫描电镜 EVO MA 10/LS 10 钨灯丝系列扫描电镜 EVO MA 15/LS 15 蔡司（ZEISS） EVO 18钨灯丝系列扫描电镜