海能仪器：硫磷混酸体系用于半导体研磨剂（液）微波消解（微

磨削和研磨等磨料处理是生产半导体晶片必要方式，抛光和平面化对生产微电子原件来说是十分重要的因此研磨剂的配方以及研磨剂的品质管控，对于半导体产品影响深远我们需要找到一种有效的成分分析方法，来解决研磨剂成分分析下面，本文以某研磨剂为样本，探索研磨剂的微波消解方法 TANK 系列微波消解仪