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电子束光刻应用(at ETH Zurich)
发布:
北京汇德信科技有限公司
时间:
2007-04-10
行业:
地矿
稀有/稀土/贵金属
电子束光刻广泛应用于低温电子器件光电子器件量子结构输运机制微系统光器件和半导体与超导体材料界面等的研究中 成套电子束光刻系统
文件大小:
502.32KB
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