脉冲电子束产生的等离子体的时间分辨离子流量分析

在相邻电极的脉冲电子束产生的氩和氧的等离子体中，测量时间分辨离子的流量和能量分布氩离子和氧离子的能量和流量的时间变化，是跟等离子体的电子温度和离子密度相关的氧等离子体的延迟时间要比氩的短这可以通过分析各种离子的损失机理来推断 EQP等离子体质量和能量分析质谱仪