薄膜生长原位监测掠入射小角散射(GISAXS)系统

首套实验室级实时监测薄膜生长的掠入射小角散射(GISAXS)系统曝光时间仅为8s，入射角调到与临界角接近，可以达到实时沉积的亚单层灵敏度 Incoatec Microfocus Source IµS---Incoatec微焦点光源IS