薄膜的磁控溅射沉积研究

Hiden的EQP等离子体质量能量分析仪在薄膜的磁控溅射沉积研究中可以提供残余气体分析随磁控源开关产生的气体分析离子能量分布中性粒子分析等多种分析手段 EQP等离子体质量和能量分析质谱仪