微波PECVD于中科院深圳先进院4周年

NANO-MASTER的微波PECVD系统产品应用于中科院深圳先进技术研究院，该系统即将配套远程微波等离子源，带直流偏压，支持高达900度的样品台加热，提供精确的控温，该系统可以支持石墨烯和CNT碳纳米管阵列。
 
根据客户要求，配套的远程微波源将真正实现对所沉积薄膜的无损伤。高温可以支持碳类薄膜的应用，在等离子作用下，实际的应用温度将得以大大降低。系统将采用计算机全自动的工艺控制，配套的软件将方便用户实现高重复性地沉积应用。该系统所采用的紧凑设计，将大大节省实验室的空间，并可以支持百级的超净间使用。