MEMS研发制造设备产品列表
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- 瑞士idonus湿法工艺晶圆卡盘
- 品牌：瑞士idonus
- 型号： WPWC Chuck
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- 瑞士idonus电镀工艺晶圆卡盘
- 品牌：瑞士idonus
- 型号： WEDC Chuck
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- 瑞士idonus静电卡盘
- 品牌：瑞士idonus
- 型号： E-chuck
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- 瑞士idonus晶圆红外显微镜
- 品牌：瑞士idonus
- 型号： IRM
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- 瑞士idonus光罩掩膜对准机
- 品牌：瑞士idonus
- 型号： MAS-DIM
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- 瑞士idonus紫外光刻曝光机
- 品牌：瑞士idonus
- 型号： UV-EXP
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