瑞士idonus晶圆红外显微镜

晶圆检测红外显微镜

显微镜配有长工作距离物镜。三步缩放允许用户选择合适的视野和放大倍率。红外敏感相机通过计算机上的USB显示被检查设备的图像。物镜分辨率为5倍时，分辨率优于3 µm。

另外，顶部照明可用。这允许以常规模式使用显微镜并检查晶片的顶侧。红外显微镜配有xy工作台，可容纳8英寸或更小的晶片。桌子是电动的，可以用操纵杆控制。

应用领域
以下两个图像是由红外显微镜拍摄的。第一张图像显示了带有顶部照明的经典显微镜图像。第二张图像是用红外照明拍摄的，并可视化了手柄和设备层之间的SiO2埋层。

图形用户界面
Windows的图形用户界面允许用户使用PC操作显微镜。它可以对显微镜进行完全控制，并可以自动获取晶圆上用户定义的网格上的图像。