Contour 高精度三维形貌计量光学轮廓仪

Contour 高精度三维形貌计量光学轮廓仪

Contour 高精度三维形貌计量光学轮廓仪融合了高级表征、可定制选项和易用性，可以提供快速、准确和可重复的非接触式三维表面计量方法。

它的操作和分析软件系统提供了更易于使用的界面和简洁的功能，可以访问多种预编程滤镜和分析工具，用于精密加工的表面，薄膜，半导体，眼科，医学设备，MEMS和摩擦学等领域的测量分析，可用于表面粗糙度，RDLxian进封装工艺厚度等测试。

Contour 高精度三维形貌计量光学轮廓仪满足计量要求，具有很好的Z轴分辨率和准确性，并在更小的占地面积内提供了布鲁克白光干涉仪（WLl）落地式型号所具备的业界认可的优点。它对反射率从0.05%到100  %的各种表面都非常易于测量。

Contour 高精度三维形貌计量光学轮廓仪拥有三款型号，分别是GT100、GT200、GT500，它们的技术参数如下：

Contour 高精度三维形貌计量光学轮廓仪

型号	GT100	GT200	GT500
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样品台区别	手动样品台	自动样品台	高级自动化样品台
技术参数	扫描量程：≤10mm 垂直分辨率：＜0.01nm 水平分辨率：0.38μm min（Sparrow criterion），0.13μm（with AcuityXR） 台阶高度准确性：＜0.75% 台阶高度重复性：＜0.1% 1 sigma repeatability 扫描速度：37μm/sec(with standard camera) 样品倾角：≤40°（shiny surfaces），≤87°（rough surfaces） 样品高度：≤100mm（4 in.）