资料简介: | |
光学元件在各个领域都有广泛应用,对光学元件的表面加工精度提出越来越高的要求。如何检测光学元件的加工精度,从而用于优化加工方法,保证ZZ元器件的性能指标,是光学元件加工领域的关键问题之一。 光学元件的加工精度包括表面质量和面型精度,这些参数会影响其对光信号的传播,进而影响ZZ器件的性能。此外,各种新型光学元件也需要检测其表面轮廓,比如非球面,衍射光学元件,微透镜阵列等。除了ZZ光学元件的加工精度以外,各种光学元件加工工艺也需要检测中间过程的三维形貌以保证ZZ产品的精度,包括注塑、模压的模具,光学图案转印时的掩膜版,刻蚀过程的图案深度、宽度等。 |
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